须颖
博士/教授/博士生、博士后导师/微纳检测与运动控制研究院主任
英国注册工程师(CEng), 英国机械工程院会员(MIMechE)
主要研究方向:
1.超精密检测技术
2.微纳定位控制技术
3.图像增强技术
4.精密六自由度平台设计
专长与经验概述:
l 近20年在英国和美国开发超精密运动控制新技术和新产品的工业经验。
l 多年在高科技公司从事技术研发、市场开发、销售、项目管理及企业管理的经验。
l 精通纳米和亚纳米范围的精密测量技术和位移/定位控制技术,并具有利用这些技术解决超精密运动控制和动态分析问题的丰富经验。
l 多年从事超精密半导体检测设备的设计和研制工作。
l 熟悉现代扫描显微技术(AFM、X射线显微镜),熟悉该类仪器的产品开发和应用。
l 曾为IBM、Seagate、Quantum、KLA、Fujitsu、Sony等国际著名公司的定制项目。
l 开发了一系列的纳米运动平台标准产品,其中许多产品的技术指标居于世界领先。合作公司大多为国际上技术领先的半导体设备制造商和微纳尺寸上表面测试与电子显微镜、扫描显微镜制造商,如:Nikon、KLA-Tencor、Veeco、FEI、JEOL、Zygo等。
特聘专家、荣誉:
2017年被评选为天津市武清区杰出人才
2012年08月至今,辽宁省首批“十百千高端人才引进工程”,荣获“辽宁省百人”荣誉称号
2016年11月至今,中国计量测试学会第七届计量仪器专业委员会 常务委员
2016年10月至今,北京市射线成像技术与装备工程技术研究中心技术委员会 委员
美国精密工程学会会员,学术杂志《Precision Engineering》 审稿人
2009年回国至今:
l 项目开发
通过承担多项科技部的项目,开发出国际先进水平的X射线三维显微成像和纳米定位技术和产品。
X射线显微成像设备的成功研发:在X射线显微成像的若干项关键技术方面取得突破(探测器、精密样品台、成像方法和算法等),成像空间分辨率达到500nm,达到国际微米CT最先进水平。
纳米定位技术的成功研发:成功开发出了整套的纳米定位平台技术和产品,包括纳米电容传感器和驱动器、先进的DSP控制器以及基于柔性铰链的纳米定位平台机构等,实现了0.1纳米分辨率的闭环控制纳米台,技术指标达到国际先进水平。
l 创办企业
先后创办了东营三英精密工程研究中心、天津三英精密仪器股份有限公司(该公司成立于2013年11月,已于2016年8月份在中国新三板上市)、三英精控(天津)仪器设备有限公司等三个公司。三英精控(天津)仪器设备有限公司成立于2015年12月,成立至今建立起了50多人的研发和工程团队,产业化第一年实现销售收入1000万元以上,并受到国家发改委,科技部基金委及地方政府的高度重视和支持。公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体,整体技术指标已达到国际领先水平。研发成果填补了国内空白,打破了西方对中国的技术壁垒,为中国制造装备的产业升级、转型提供了关键技术和打造了坚实基础,助力实现“中国制造2025”。2017年6月,公司成功承接了科技部2017年度“重大科学仪器设备开发”的重点科技研发项目,三英精控成为天津市唯一一家入选科技部重点科技研发项目的企业。
主要科研项目:
l 2011年(科技部)国家重大科学仪器设备开发重点专项(6318万元):“X射线三维显微成像检测系统研制与应用开发”项目总负责人。
l 2012年(科技部)国家科技支撑计划项目: “微纳技术计量标准和标准物质研究”, 课题九——纳米位移定位控制技术和系统的研发(327万元)课题负责人。
l 2017年(科技部)国家重大科学仪器设备开发重点专项(423万元):“高精度纳米位移平台的开发与应用”(项目编号:2017YFF0105900),项目总负责人。